Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Material for resist sensitization film formation, process for producing semiconductor device, semiconductor device, and magnetic head
French[fr]
Matériau pour formation d'un film de sensibilisation de réserve, procédé pour fabriquer un dispositif semi-conducteur, dispositif semi-conducteur et tête magnétique
Japanese[ja]
レジスト増感膜形成用材料、半導体装置の製造方法、半導体装置、及び磁気ヘッド