Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The present invention configures the recycling unit of a single integrated structure to perform the condensing process after separating the additive from the carbon dioxide used for cleaning.
French[fr]
La présente invention configure l'unité de recyclage d'une structure intégrée unique afin de réaliser le processus de condensation après séparation de l'additif du dioxyde de carbone utilisé pour le nettoyage.
Korean[ko]
본 발명은 고압 처리기를 이용한 기판처리장치에 관한 것으로, 고압의 이산화탄소를 사용하여 기판을 처리하는 고압 처리기와, 상기 고압 처리기에서 사용된 이산화탄소를 배출하는 배출관으로부터 각각 이산화탄소를 분기하는 제1 및 제2분기라인과, 상기 제1분기라인을 통해 공급되는 이산화탄소로부터 첨가제를 분리하고, 그 이산화탄소를 응축시키되, 그 응축에 냉각부의 냉매가 지나는 냉매순환관과 함께 상기 제2분기라인을 통해 공급되는 이산화탄소의 단열팽창에 의한 온도하강이 관여되도록 하는 리사이클부와, 상기 리사이클부 또는 이산화탄소 공급부의 액체 이산화탄소를 고압으로 펌핑하는 고압펌프와, 상기 고압펌프를 통해 승압된 이산화탄소를 단계적으로 가열하고, 상기 고압 처리기에 공급하는 버퍼역할을 하는 제1 및 제2가열버퍼부를 포함한다.