Besonderhede van voorbeeld: -9174845190863561377

Metadata

Data

Italian[it]
A differenza di altri prodotti chimici, ClF3 esplica la sua funzione senza bisogno di essere attivato, dato che la temperatura della camera è sufficiente a decomporlo e farlo reagire con il materiale semiconduttore da rimuovere.
Chinese[zh]
与其它代替的清洁剂不同,三氟化氯在使用前不需经过等离子体激化,因为反应舱残存的热量就足以使它分解并与半导体材料反应。

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