Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The present invention relates to a method for purifying silane.
French[fr]
L'invention concerne un procédé de purification de silane.
Korean[ko]
본 발명에 따르면, 불순물, 특히 에틸렌 및 에틸 실란 등의 불순물이 완전하게 배제된 초고순도의 목적 화합물을 얻을 수 있다.