Metadata
Author: cordis
Data
German[de]
Die ersten vielversprechenden Ergebnisse für die SiRes MEMS konnten auf Wafer an der Luft erzielt werden, müssen aber noch in einem Vakuumbaustein bestätigt werden.
English[en]
First promising results for the SiRes MEMS have been shown on wafer-in-air, but need to be confirmed under vacuum packaging.
Spanish[es]
Los primeros resultados prometedores de los MEMS de SiRes se han observado en sistemas de «wafer-in-air» que aún deben confirmarse en condiciones de vacío.
French[fr]
Les premiers résultats prometteurs pour les MEMS SiRes ont été montrés sur une wafer à l'air, mais doivent encore être confirmés dans un emballage sous vide.
Italian[it]
I primi risulatti promettenti per i SiR MEMS sono stati mostrati su wafer in aria, ma devono essere confermati in un sistema nel vuoto.
Polish[pl]
Pierwsze obiecujące wyniki MEMS SiRes uzyskane zostały na płytce niezamkniętej, niemniej wymagają one potwierdzenia w opakowaniu próżniowym.