Metadata
Author: cordis
Data
German[de]
So konnte man dicke Materialschichten bei einer hohen Abscheidungsrate ohne den Einsatz giftiger Gase erzeugen, was eine nur minimale Umweltbelastung zur Folge hatte.
English[en]
This was able to generate thick layers of material at a high deposition rate which, using no toxic gases, resulted in minimum environmental impact.
Spanish[es]
Este método permitió crear capas gruesas de material a una velocidad de deposición elevada y, al no utilizar gases tóxicos, con un impacto medioambiental mínimo.
French[fr]
Il a ainsi été possible de générer des couches épaisses de matériau à des vitesses de dépôt élevées. Ce procédé, qui n'utilise pas de gaz toxiques, n'a qu'un effet minimal sur l'environnement.
Italian[it]
Questo metodo ha potuto generare spessi strati di materiale a un alto tasso di deposizione che, non usando gas tossici, ha determinato un impatto ambientale minimo.
Polish[pl]
Dzięki temu wygenerowano grube warstwy materiału przy wysokim współczynniku osadzania, które, poprzez nieobecność gazów toksycznych, wywołują jedynie minimalny wpływ środowiskowy.