Metadata
Author: cordis
Data
German[de]
Darüber hinaus ist die Tiefenprofilierung ohne Strahlungsschäden und ohne einen daraus resultierenden Verlust molekularer Informationen durchführbar, wie es hingegen bei anderen Sputter-Verfahren vorkommen kann.
English[en]
In addition, depth profiling is possible without radiation damage and resulting loss of molecular information, as is common with other sputtering techniques.
Spanish[es]
Además, también es posible realizar perfiles de la profundidad sin que se produzcan daños por las radiaciones y la consiguiente pérdida de información molecular, como suele suceder con otras técnicas de pulverización.
French[fr]
En outre, le profilage en profondeur est possible sans provoquer de dommages dus aux rayonnements et sans perdre les informations moléculaires qui en résultent, comme cela est courant avec d'autres techniques de pulvérisation.
Italian[it]
Inoltre le analisi in profondità (depth profiling) sono possibili senza danni da radiazioni e conseguente perdita di informazioni molecolari, cosa comune ad altre tecniche di sputtering.
Polish[pl]
Ponadto profilowanie głębokościowe możliwe jest bez uszkodzeń wynikających z promieniowania i następującej w efekcie utraty informacji molekularnych, jak często ma to miejsce w przypadku innych technik rozpryskowych.