Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The method and apparatus for manufacturing graphene according to the present invention induces reaction gas for graphene growth using heat of the light irradiated over a large area from the flash lamp, so as to grow graphene on the substrate.
French[fr]
Le procédé et l'appareil permettant de fabriquer le graphène conformément à la présente invention génèrent une induction du gaz de réaction pour la croissance du graphène en utilisant la chaleur de la lumière illuminée sur une grande surface à partir de la lampe flash de façon à faire croître le graphène sur le substrat.
Korean[ko]
본 발명에 따른 그래핀이 성장되어야 하는 기판이 내부에 구비되는 챔버; 상기 기판의 일 측면으로 반응가스가 유입되는 유입부; 상기 챔버에 진공을 인가하는 위한 진공부; 및 상기 챔버 상단에 구비되어, 상기 기판에 빛을 조사하기 위한 플래쉬 램프 또는 레이저를 포함하며 여기에서 상기 기판은 롤투롤(roll to roll) 이송수단에 의하여 이동되는 것을 특징으로 하며, 본 발명에 따른 그래핀 제조방법 및 장치는 대면적으로 조사되는 플래쉬 램프의 열을 이용, 그래핀 성장가스를 반응시켜 기판 상에 그래핀을 성장시킨다.