Besonderhede van voorbeeld: -9206086373916030841

Metadata

Author: patents-wipo

Data

English^[en]

Method for forming crystalline cobalt silicide film

French^[fr]

Procédé de formation de pellicule en siliciure de cobalt cristallisé

Japanese^[ja]

結晶性コバルトシリサイド膜の形成方法

History

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