Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
When a spatial light modulator having an array of a plurality of optical elements is used, the method can reduce an error of an intensity distribution of a spatial image eventually formed on a substrate surface from a target distribution.
French[fr]
Lorsqu'un modulateur spatial de lumière ayant un réseau d'une pluralité d'éléments optiques est utilisé, le procédé peut réduire une erreur d'une distribution d'intensité d'une image spatiale finalement formée sur une surface de substrat à partir d'une distribution cible.
Japanese[ja]
空間光変調器の駆動方法は、ミラー要素のアレイで、入射光を位相が同じか又は第1の位相だけ異なる反射光とする第1の状態のミラー要素と、入射光を位相がその第1の位相とほぼ180°異なる反射光とする第2の状態のミラー要素とを、第1の位相分布を持つ配列に設定することと、ミラー要素のアレイで、第1のミラー要素と第2のミラー要素とを、第1の位相分布を反転した第2の位相分布を持つ配列に設定することと、を含む。