Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The aim is to perform displacement measurement that is not influenced by the gradient precision of an optical element, has a simple structure and can be reduced in size, is minimally influenced by even position deviations in the surface direction of a diffraction grating, and enables the adjustment of optical resolution.
French[fr]
L'objectif est de réaliser des mesures de déplacement qui ne sont pas influencées par une précision de gradient d'un élément optique qui a une structure simple et peut être réduit en taille, sont influencées de manière minimale même par les déviations de position dans la direction de surface d'un réseau de diffraction, et permettent l'ajustement de la résolution optique.
Japanese[ja]
【課題】光学素子の傾き精度の影響を受けず、構成が簡単かつ小型化が可能であり、回折格子の面方向の位置ずれに対しても影響が小さく、光学分解能の調整が可能な変位計測を行う。 【解決手段】レーザ光源12からのレーザ光13を、コリメータレンズ14によって平行光15とし、平行光15を第1の回折格子16により直進光と回折光に分けて進行させ、第1の回折格子16に対向する可動側の第2の回折格子18を通過させる。