Metadata
Author: WikiMatrix
Data
Hungarian[hu]
A CHF3-at a félvezetőiparban használják a szilícium-oxid és szilícium-nitrid plazmamaratása során.
Russian[ru]
CHF3 используется в полупроводниковой промышленности при плазменном травлении оксида кремния и нитрида кремния.