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Author: patents-wipo
Data
English[en]
A plasma nitridization method comprising carrying out the plasma nitridization of a material of interest at a high nitrogen dose in a treatment vessel in a plasma treatment apparatus and carrying out the plasma nitridization of the material at a low nitrogen dose, wherein a rare gas, a nitrogen gas and an oxygen gas are introduced into the treatment vessel after the completion of the plasma nitridization at the high nitrogen dose and the inside of the treatment vessel is subjected to a plasma seasoning treatment with a nitrogen plasma containing a trace amount of oxygen under the conditions where the pressure in the treatment vessel is 532 to 833 Pa inclusive and the flow ratio of the oxygen gas in the whole treatment gas is 1.5 to 5% by volume inclusive.
French[fr]
La présente invention concerne un procédé de nitruration au plasma qui comprend la réalisation de la nitruration au plasma d'une matière intéressante à une dose élevée d'azote dans une cuve de traitement d'un appareil de traitement au plasma et l'exécution de la nitruration au plasma de la matière à une dose faible d'azote, dans lequel un gaz rare, de l'azote gazeux et de l'oxygène gazeux sont introduits dans la cuve de traitement après la réalisation de la nitruration au plasma à une dose d'azote élevée et l'intérieur de la cuve de traitement est soumis à un traitement de stabilisation au plasma avec un plasma azoté qui contient une teneur négligeable en oxygène dans des conditions dans lesquelles la pression dans la cuve de traitement est comprise entre 532 et 833 Pa inclus et le débit masse de l'oxygène gazeux dans le gaz de traitement total est entre 1,5 et 5 % en volume inclus.
Japanese[ja]
プラズマ処理装置の処理容器で被処理体に対して高窒素ドーズ量のプラズマ窒化処理をした後に、低窒素ドーズ量のプラズマ窒化処理をするプラズマ窒化処理方法であって、高窒素ドーズ量条件のプラズマ窒化処理の終了後、同一の前記処理容器内に希ガスと窒素ガスと酸素ガスを導入し、処理容器内の圧力が532Pa以上833Pa以下で、全処理ガス中の酸素ガスの体積流量比が1. 5%以上、5%以下の条件で微量酸素添加窒素プラズマにより処理容器内をプラズマシーズニング処理する。