Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Method for manufacturing a group iii nitride substrate using a chemical lift-off process
French[fr]
Procédé pour la fabrication d'un substrat en nitrure d'élément du groupe iii utilisant un procédé de décollement lift-off chimique
Korean[ko]
화학적 리프트 오프 방법을 이용한 III족 질화물 기판의 제조방법