Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
A method and system for modeling and analyzing wafer nanotopography data utilizes a nonlinear contact finite element model.
French[fr]
L'invention concerne un procédé et un système de modélisation et d'analyse de données de nanotopographie sur plaquette qui utilisent un modèle à éléments finis à contact non linéaire.