Metadata
Author: patents-wipo
Data
German[de]
Das Verfahren wird zum bipolaren Pulssputtern zur Abscheidung elektrisch isolierender Schichten auf Werkstücken verwendet.
English[en]
The process is used in bipolar pulsed sputtering for depositing electrically insulating coatings on workpieces.
French[fr]
Le procédé est utilisé en pulvérisation pulsée bipolaire, pour la déposition de couches électriquement isolantes sur des pièces.