Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The line sensor (38) of a third scanning unit (34) scans an image of the substrate (2) to be inspected, at an angle tilted to a second direction by a second angle (β) from the direction vertical to the surface to be inspected.
French[fr]
Le capteur de ligne (38) d'une troisième unité de balayage (34) balaie une image du substrat (2) à inspecter, à un angle incliné dans une seconde direction selon un second angle (β) par rapport à une direction perpendiculaire à la surface à inspecter.
Japanese[ja]
第3走査ユニット(34)のラインセンサ(38)は、被検査面と垂直な方向から第2角度(β)だけ第2方向側に傾いた角度で基板(2)の被検査面を見た映像を走査する。