Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
A micropump including at least one main plate (1), at least one upper plate (2), and a middle plate (3) arranged between the other two plates (1, 2) and forming a pumping chamber (4) that is connected with at least one inlet of the micropump and at least one outlet of the micropump. The pumping chamber comprises a movable wall (5) machined into the middle plate (3); the upper plate is equipped with at least one opening (12) linking a cavity (8) with at least one portion of the movable wall (5). Actuation devices (6, 7, 13) attached to the free surface of the upper plate (2) are used to shift said movable wall (5) in order to bring about a periodic variation in the volume of the pumping chamber (4).
French[fr]
La micropompe comporte au moins une plaquette de base (1), au moins une plaquette supérieure (2) et une plaquette intermédiaire (3) intercalée entre les deux autres plaquettes (1, 2) et définissant une chambre de pompage (4) reliée avec au moins une entrée de la micropompe et au moins une sortie de la micropompe, la chambre de pompage comprenant une paroi mobile (5) usinée dans la plaquette intermédiaire (3), la plaquette supérieure étant munie d'au moins un orifice (12) reliant une cavité (8) avec au moins une partie de la paroi mobile (5), des moyens d'actionnement (6, 7, 13) fixés sur la face libre (9) de la plaquette supérieure (2) étant prévus pour déplacer ladite paroi mobile (5) afin de provoquer une variation périodique du volume de la chambre de pompage (4).