Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The present invention relates to an MEMS microphone capable of preventing a membrane and a back plate from being contacted by an overvoltage or an external shock and the like, and a manufacturing method thereof.
French[fr]
La présente invention concerne un microphone de système micro-électromécanique capable d'interdire le contact d'une membrane et d'une plaque arrière avec une surtension ou un choc externe et analogue, ainsi que son procédé de fabrication.
Korean[ko]
본 발명은 멤브레인과 백 플레이트가 과전압 또는 외부 충격 등에 의해 접촉되는 것을 방지할 수 있는 멤스(MEMS) 마이크로폰 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 백 챔버가 형성되는 실리콘 기판; 상기 실리콘 기판에 증착되고, 다수의 음공이 형성된 백 플레이트; 상기 백 플레이트와 이격되어 에어갭이 형성되도록 상기 실리콘 기판에 증착되는 멤브레인; 및 상기 실리콘 기판에 증착되어 상기 멤브레인에 척력을 작용하는 접촉방지 전극부;를 포함하는 멤스 마이크로폰 및 그 제조방법을 제공한다.