Metadata
Author: cordis
Data
German[de]
Elektronenstrahl-Verdampfung für das anodische Dünnschicht-Bonden
English[en]
Electron-beam evaporation for thin-film anodic bonding
Spanish[es]
Evaporación por haz electrónico para unión anódica de capa fina
French[fr]
L'évaporation par bombardement électronique utilisée pour le collage anodique de couches minces
Italian[it]
Evaporazione a fascio elettronico per la creazione di legami su film sottili