Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
According to the prevent invention, substrate heating takes place uniformly because differences of calibration are reflected in actual input current to apply a voltage to a subgroup.
French[fr]
Selon le mode de réalisation, le chauffage du substrat s'effectue uniformément car les différences d'étalonnage sont réfléchies dans le courant d'entrée en cours afin d'appliquer une tension à un sous-groupe.
Korean[ko]
본 발명에 따른 급속열처리 장치의 가열램프 제어방법은, 가열프군을 복수개의 서브그룹으로 분할하여 서브그룹에 획일적으로 적용되는 입력전압-기준입력전류 그래프 데이터를 정하는 단계; 서브그룹에 각각 인가되는 실제 입력전류를 측정하여 입력전압-실제입력전류 그래프 데이터를 얻는 단계; 기준입력전류와 실제입력전류의 차이로 서브그룹별로 보정용 차이값을 얻는 단계; 및 보정용 차이값을 반영하여 상기 서브그룹별로 전압을 인가하는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.