Metadata
Author: ParaCrawl Corpus
Data
German[de]
In dieser Arbeit wird daher nach Aufarbeitung des Standes der Technik miniatursierter Schrittantriebe die Realisierung einer mikrostrukturierten Inchwormplattform beschrieben. Ausgangspunkt sind dabei die am Institut für Elektromechanische Konstruktionen entwickelten monolithischen Positioniersysteme.
English[en]
After wrapping up the state of the art of miniaturized stepping drives, this thesis therefor describes the realization of a micro-structured Inchworm plattform based on the monolithic positioning systems developed at the Institute of Electromechanical Design.