Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The method comprises: forming, by an active layer material, an active layer pattern of which the mobility is greater than a set threshold value; and conducting ion implantation on the active layer pattern.
French[fr]
Le procédé comprend : la formation, par un matériau de couche active, d’un motif de couche active dont la mobilité est supérieure à une valeur de seuil réglée ; et la mise en œuvre d’une implantation d’ions sur le motif de couche active.
Chinese[zh]
所注入的离子形成的化合键的能量大于有源层材料中离子形成的化合键的能量,从而减少空位形成的几率及降低载流子浓度。 这样,降低了有源层表面的迁移率,进而降低漏电流,调节阀值电压向正方向移动,提高薄膜晶体管性能。