Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The CMP composition is especially useful in a lower isolation CMP process for semiconductor devices.
French[fr]
La composition CMP est particulièrement utile dans un procédé CMP d'isolation inférieure pour des dispositifs à semi-conducteurs.
Korean[ko]
CMP 조성물은, 특히, 반도체 소자의 하부 분리(isolation) CMP 공정에 유용한 것이며, 폴리실리콘 연마정지제를 함유하여 폴리실리콘 막을 연마정지 막으로 사용하여 절연막을 선택적으로 연마할 수 있는 고선택성 CMP 조성물에 관한 것이다.