Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
In addition to varying a design parameter to optimize the pattern fidelity statistic, a random error in the template design is included prior to modelling predicted patterns in order to compensate for expected template inaccuracy in practice.
French[fr]
En plus de la variation d'un paramètre de dessin pour optimiser la statistique de fidélité de motif, une erreur aléatoire dans le dessin de gabarit est incluse avant la modélisation de motifs prévus afin de compenser une imprécision de gabarit prévue dans la pratique.