Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
A method utilizes HVPE to grow high quality flat and thick compound semiconductors (15) onto foreign substrates (10) using nanostructure compliant layers.
French[fr]
L'invention concerne un procédé utilisant HVPE pour le tirage de semi-conducteurs composés plats et épais, de haute qualité (16) sur des substrats étrangers (10) au moyen de couches conformes en nanostructure.