Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Method for manufacturing gas chromatography chip through multi-etching and method for manufacturing chip laminate
French[fr]
Procédé de fabrication de puces pour chromatographie en phase gazeuse au moyen de gravures multiples et procédé de fabrication de stratifié de puce
Korean[ko]
다중 에칭을 통한 가스 크로마토그래피 칩의 제조 방법 및 상기 칩 적층체의 제조 방법