Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
A silicon wafer that has been cleaned with a cleaning liquid is rinsed with carbonated water.
French[fr]
Une tranche de silicium qui a été nettoyée avec un liquide de nettoyage est rincée avec de l'eau chargée de gaz carbonique.
Japanese[ja]
洗浄液により洗浄したシリコンウェハを、炭酸水によりリンスする。