Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Control and monitoring device for manual valve in semiconductor and display production equipment
French[fr]
Dispositif de commande et de surveillance pour vanne manuelle dans un équipement de fabrication de semi-conducteur et d'affichage
Korean[ko]
반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치