Metadata
Author: patents-wipo
Data
German[de]
Dabei ist vorgesehen, dass der mikromechanische Membransensor wenigstens eine erste Membran und eine im Wesentlichen über der ersten Membran liegende zweite Membran aufweist.
English[en]
According to the invention, the micromechanical membrane sensor comprises at least one first membrane and a second membrane arranged essentially above the first membrane.
French[fr]
Selon l'invention, ledit capteur à membrane micromécanique comporte au moins une première membrane et une deuxième membrane située sur la deuxième.