Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Disclosed are a plasma process diagnosis apparatus having a communication module for the parallel use of a monochrometer module and an integrated sensor optical emission spectroscopy and a method for using the same.
French[fr]
La présente invention concerne un appareil de diagnostic par traitement au plasma qui possède un module de communication pour une utilisation en parallèle d'un module de monochromateur et une spectroscopie d'émission optique à capteur intégré et un procédé faisant appel à celui-ci.
Korean[ko]
본 발명의 모노크로미터와 통합 센서 발광분광기의 병행 사용을 위한 통신모듈을 갖는 플라즈마 공정 진단 장치는 플라즈마를 이용하여 공정이 진행되는 공정챔버; 상기 공정챔버 내에서 방출되는 빛을 외부로 전달하는 뷰 포트; 상기 뷰 포트에 광케이블로 접속되어 광케이블로부터 전송된 빛의 파장을 분석하여 식각 종료 신호를 송신하는 모노크로미터 모듈; 상기 공정챔버와 연결되어 상기 공정챔버에서 서로 다른 데이터를 취합하여 미리 설정된 기준값과 비교하여 플라즈마 공정을 진단하고 식각 종료 신호을 송신하는 통합 센서 발광분광기; 상기 모노크로미터 모듈 또는 상기 통합 센서 발광분광기의 신호를 제어부의 신호에 의하여 선택하는 통신모듈; 및 상기 모노크로미터 모듈 또는 통합 센서 발광분광기의 식각 종료 신호에 의하여 챔버의 공정 조건들과 공정 진행 여부를 결정하는 제어부를 포함한다.