Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Preferably, the metal organic precursor is a metal alkyl amide and the silicon organic precursor is a silicon alkyl amide.
French[fr]
Le précurseur organique de métal est de préférence un alkylamide de métal et le précurseur organique de silicium est de préférence un alkylamide de silicium.