Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The angle of incidence (112) is controlled by reducing the collision scattering of the material being sputtered and by intercepting the sputtered material that would without interception arrive at the surface to be coated at high angles of incidence (116).
French[fr]
On commande l'angle d'incidence (112) en réduisant la dispersion de collision du matériau qui est pulvérisé et en interceptant le matériau pulvérisé qui, sans cette interception, arriverait à la surface à recouvrir avec des angles d'incidence élevés (116).