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Author: ParaCrawl Corpus
Data
English[en]
TECAPEEK CMP is a Victrex® PEEK polymer specially modified for applications in the semiconductor industry, and more specfically for parts in CMP (chemical mechanical planarization) equipment. The material maintains the outstanding property profile inherant to PEEK, which includes high mechanical strength and dimensional stability for tightest part tolerances, along with a low tendency to creep.
Korean[ko]
TECAPEEK CMP는 반도체용으로 특수 개질된 Victrex® PEEK 폴리머 반제품으로, 우수한 기계적 강도, 최소한의 부품 허용오차에 대한 치수안정성, 낮은 크리프 확률 등 PEEK 고유의 뛰어난 특성을 보입니다. 특히 이 소재는 CMP(화학기계연마) 장비의 부품 용도로 생산되며, TECAPEEK 표준 제품에 비해 높은 순도 및 우수한 내화학성, 향상된 내마모성 및 내마찰성을 갖추고 있습니다. 정보