Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The thin film transistor (1) comprises a substrate (10), the active layer (12) provided on the substrate (10), a gate insulating layer (13), a gate (14) and an interlayer insulating layer (17), and further comprises a conductive etching stop layer (15) provided on the active layer (12).
French[fr]
Le transistor à couche mince (1) comprend un substrat (10), la couche active (12) agencée sur le substrat (10), une couche d'isolation de grille (13), une grille (14) et une couche isolante (17) disposée entre les couches, et comprend en outre une couche conductrice d'arrêt de gravure (15) agencée sur la couche active (12).
Chinese[zh]
薄膜晶体管(1),包括基板(10)、设置于所述基板(10)上的有源层(12)、栅绝缘层(13)、栅极(14)以及层间绝缘层(17),还包括:设置于所述有源层(12)上的导电刻蚀阻挡层(15);所述导电刻蚀阻挡层(15)的位置与所述有源层(12)的源极区(120)、漏极区(121)相对应,在所述有源层(12)的源极区(120)、漏极区(121)上方形成有过孔(16),且该过孔(16)不超过所述导电刻蚀阻挡层(15)的边缘。