Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Disclosed is a method for commercially producing trichlorosilane in an efficient manner by effectively re-using the exhaust gas which remains after trichlorosilane has been condensed and separated from reaction product gas, when trichlorosilane is produced by means of a reaction between metallic silicon and hydrogen chloride.
French[fr]
L'invention porte sur un procédé de production industrielle efficace de trichlorosilane grâce à la réutilisation effective du gaz d'échappement qui reste après que le trichlorosilane a été condensé et séparé du produit gazeux de la réaction, lorsque le trichlorosilane est produit au moyen d'une réaction entre du silicium métallique et du chlorure d'hydrogène.
Japanese[ja]
【課題】金属シリコンと塩化水素との反応によりトリクロロシランを製造するに際し、反応生成ガスからトリクロロシランを凝縮分離した後の排ガスを、効果的に再利用し、トリクロロシランを効率良く工業的に製造する方法を提供する。 【解決手段】金属シリコンに塩化水素を反応させてトリクロロシランを生成せしめる第1の製造プロセスと、金属シリコンにテトラクロロシラン及び水素を反応させてトリクロロシランを生成せしめる第2の製造プロセスとを、互いに独立して含み、前記第1の製造プロセスにより得られたトリクロロシランを含む反応生成ガスから、該トリクロロシランを凝縮分離し、トリクロロシランが凝縮分離された後の排ガスを、水素源として第2の製造プロセスに供給することを特徴とする。