Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
On the basis of the deterioration parameter of the electrodes, the gas control unit may determine the amount of the gas inside of the laser chamber to exchange.
French[fr]
Sur la base du paramètre de détérioration des électrodes, l’unité de contrôle du gaz peut déterminer la quantité de gaz à l’intérieur de la chambre laser afin de procéder à l’échange.
Japanese[ja]
このエキシマレーザ装置は、ガスを封入するレーザチャンバと、レーザチャンバの内部に配置された一対の電極と、電極間にパルス電圧を供給する電源部と、レーザチャンバの内部へのガスの供給を行うガス供給部と、レーザチャンバの内部のガスの部分的な排気を行うガス排気部と、電極の劣化パラメータに基づいて、レーザチャンバの内部のガスの一部を交換するようにガス供給部及びガス排気部を制御するガス制御部と、を備えてもよい。