Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
An etchant composition which, in forming a metal wiring having a molybdenum-based metal thin film (such as a laminated metal wiring composed of an aluminum-based metal thin film and a molybdenum-based metal thin film), can impart a normally tapered shape to the wiring side-surface, which has neither odors nor flash points, and which enables easy reuse or recycle of etching waste.
French[fr]
La présente invention se rapporte à une composition d'agent de gravure qui, lors de la fabrication d'un câblage métallique ayant un mince film métallique à base de molybdène (tel qu'un câblage métallique stratifié composé d'un mince film métallique à base d'aluminium et d'un mince film métallique à base de molybdène), peut donner une forme normalement effilée à la surface côté câblage, qui n'a pas d'odeurs ni de points éclairs et qui permet une réutilisation aisée ou un recyclage aisé d'un résidu de gravure.
Japanese[ja]
アルミニウム系金属薄膜とモリブデン系金属薄膜との積層金属配線等のモリブデン系金属薄膜を有する金属配線の形成において、配線側面形状に良好な順テーパー形状を与えることができ、しかも、臭気や引火点がなく、エッチング廃液のリユースやリサイクルが容易な以下のエッチング液組成物:アルミニウム又はアルミニウム合金の金属薄膜の少なくとも1層とモリブデン又はモリブデン合金の金属薄膜の少なくとも1層とからなる積層金属膜等のモリブデン系金属薄膜を有する金属配線のエッチングに使用される、リン酸、硝酸、ジエチレントリアミン、トリエチレンテトラミン、テトラエチレンペンタミン、ペンタエチレンヘキサミン及びトリス(2-アミノエチル)アミンからなる群から選択される少なくとも1種であるポリアルキレンポリアミン及び水を含有するエッチング液組成物。