Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Provided is a probe device capable of accurate inspection without warping or damaging a mounting table.
French[fr]
L'invention concerne un dispositif de sonde apte à une inspection précise sans déformation ou endommagement d'une table de montage.
Japanese[ja]
載置台に反りや損傷が生じることなく、正確に検査を実施できるプローブ装置を提供する。