Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The test pattern (120) has at least one test corner (110) for evaluating a degree of corner rounding when the test pattern is defined in the photomask (106).
French[fr]
Le motif test (120) contient au moins un coin test (110) destiné à évaluer le degré d'arrondissement d'angle lorsque le motif test est défini dans le masque photographique (106).