Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
An electromagnetic field source (140) is arranged in front of the external side of the dielectric window (400) for generating an electromagnetic field within the plasma chamber (12).
French[fr]
Une source de champ électromagnétique (140) est disposée face au côté externe de la fenêtre diélectrique (400) afin de générer un champ électromagnétique à l'intérieur de la chambre de plasma (12).