Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Disclosed is a method for operating a vacuum processing apparatus, wherein common processes are sequentially performed to each of the subjects, which are to be processed, by transferring the subjects among a plurality of depressurized process chambers.
French[fr]
L'invention concerne un procédé permettant d'utiliser un appareil de traitement sous vide, les processus habituels étant réalisés séquentiellement sur chacun des sujets qui doivent être traités, en transférant les sujets parmi une pluralité de chambres de traitement dépressurisées.
Japanese[ja]
この真空処理装置の運用方法は、複数の減圧されたプロセス室間を複数の被処理体が移動することにより、これら被処理体のそれぞれに対して共通のプロセス処理を順に施す。