Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Then, the power-applying electrode applies power to the conductive thin film to generate joule heat, and crystallizes the amorphous silicon thin film through the thus-generated joule heat.
French[fr]
Cette dernière applique alors une puissance sur le film mince conducteur afin de générer de la chaleur par effet Joule, et cristallise le film mince en silicium amorphe par le biais de ladite chaleur générée par effet Joule.
Korean[ko]
이때, 상기 기판 스테이지는 상기 기판 스테이지에 안착된 기판의 도전성 박막이 상기 전원인가용 전극에 접촉될 수 있도록 상기 전원인가용 전극 측으로 이동되고, 상기 전원인가용 전극은 상기 도전성 박막에 전원을 인가함으로써 주울(joule)열을 발생시키고 상기 발생된 주울열을 통하여 비정질 실리콘 박막을 결정화시킨다.