Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Device for dividing and feeding gas flow from flow rate- regulating device-equipped gas-feeding equipment to chamber
French[fr]
Dispositif permettant, a partir d'un equipement d'alimentation en gaz dote d'un dispositif de regulation, de diviser un flux gazeux et d'alimenter une chambre
Japanese[ja]
流量制御装置を備えたガス供給設備からチャンバーへのガス分流供給装置及びガス分流供給方法