Metadata
Author: cordis
Data
German[de]
Das epitaktische Wachstum kubischer Siliziumkarbid-Schichten (SiC - Silicon Carbide) für die nachfolgende Verwendung in mechanischen Sensoren und anderen optoelektronischen Geräten kann durch kurze Glühfrequenzen einer entsprechenden Lampe effizient unterstützt werden.
English[en]
The epitaxial growth of cubic Silicon Carbide (SiC) films for subsequent use in mechanical sensors and other optoelectronic devices can be supported by flash lamp annealing in a promising manner.
Spanish[es]
El crecimiento heteroepitexial de las películas de carburo de silicio cúbico (SiC) para su correspondiente uso en sensores mecánicos y otros dispositivos optoelectrónicos puede verse facilitado por la técnica de la deposición asistida por lámpara de flash.
French[fr]
La croissance épitaxiale de films de carbure de silicone cubique (SiC, Silicon Carbide) en vue de leur utilisation ultérieure dans des capteurs mécaniques et d'autres dispositifs optoélectroniques peut être favorisée par un recuit par lampe flash de manière tout à fait prometteuse.
Italian[it]
La crescita epitassiale di film SiC (carburo di silicio cubico) per l'impiego in sensori meccanici e altri dispositivi optoelettronici può essere promettentemente supportata dalla tecnica FLA (Flash Lamp Annealing).