Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
More particularly, the present invention relates to a composition for a texture-etching solution and to a texture-etching method for crystalline silicon wafers, wherein the composition comprises: an alkali compound; a cyclic compound; at least one surfactant selected from the group consisting of a polyoxyethylene (POE) compound, a polyoxypropylene (POP) compound, and a copolymer thereof; and water.
French[fr]
Plus particulièrement, la présente invention porte sur une composition pour une solution de gravure de texture et sur un procédé de gravure de texture pour tranches de silicium cristallin, laquelle composition comprend : un composé alcalin ; un composé cyclique ; au moins un tensioactif choisi dans le groupe comprenant un composé de polyoxyéthylène (POE), un composé de polyoxypropylène (POP) et un copolymère de ceux-ci ; et de l'eau.
Korean[ko]
본 발명은 결정성 실리콘 웨이퍼의 텍스쳐 에칭액 조성물 및 텍스쳐 에칭방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 알칼리 화합물; 고리형 화합물; 폴리옥시에틸렌계(POE) 화합물, 폴리옥시프로필렌계(POP) 화합물 및 이들의 공중합체로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 계면활성제; 및 물을 포함함으로써 결정성 실리콘 웨이퍼 표면의 텍스쳐 품질 편차를 최소화시켜 텍스쳐 구조의 균일성을 향상시켜 태양광의 흡수량을 극대화시키고 광 반사율을 낮춰 광효율을 높일 수 있으며 사용량을 현저히 낮추어 처리 매수를 증가시킬 수 있을 뿐만 아니라 테스쳐 공정 중 별도의 에칭액 성분을 투입할 필요가 없어 생산성을 높이고 비용 면에서도 경제적인 결정성 실리콘 웨이퍼의 텍스쳐 에칭액 조성물 및 텍스쳐 에칭방법에 관한 것이다.