Metadata
Author: cordis
Data
German[de]
EU-finanzierte Forscher haben einen Weg gefunden, Subwellenlängen-Lithographie durchzuführen, um mithilfe einer unkonventionellen Nano-Lithografietechnik kleinere Strukturgrößen zu erhalten.
English[en]
EU-funded scientists found a way to perform sub-wavelength lithography to obtain smaller feature sizes using an unconventional nanolithography technique.
Spanish[es]
Un grupo de científicos financiado por la Unión Europea ha hallado un camino para realizar litografía con fracciones de las longitudes de onda, utilizando una técnica de nanolitografía no convencional.
Italian[it]
Gli scienziati finanziati dall’UE hanno scoperto un metodo per eseguire la litografia a sub-lunghezza d’onda al fine di ottenere caratteristiche con dimensioni più piccole, attraverso una tecnica di nanolitografia non convenzionale.
Polish[pl]
Finansowany ze środków UE zespół badawczy znalazł nowy sposób na wykonanie podczęstotliwościowej litografii w celu uzyskania elementów mniejszych rozmiarów za pomocą niekonwencjonalnej techniki nanolitografii.