Metadata
Author: cordis
Data
German[de]
Mittels dieses Verfahrens kann eine dünne, defektarme SiC-Keimschicht entstehen, auf der dickere epitaxiale SiC-Schichten wachsen.
English[en]
This method can lead to the growth of a thin, low defect density seed layer of SiC on which thicker epitaxial SiC layers may grow.
Spanish[es]
Este método permite el crecimiento de una capa semilla de SiC fina de densidad con defectos bajos sobre la que pueden crecer capas de SiC epitaxiales más gruesas.
French[fr]
Cette méthode peut entraîner la croissance d'une couche mince de germes de SiC à faible densité de défaut sur laquelle des couches épitaxiales plus épaisses de SiC peuvent se former.
Italian[it]
Il metodo permette di creare uno strato intermedio di SIC, sottile e con pochi difetti di densità, sul quale si sviluppano strati più spessi di SiC epitassiale.