Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Provided are a compound containing an aromatic ring for a resist underlayer, a resist underlayer composition including same, and a method for forming a pattern of a device using same.
French[fr]
L'invention concerne un composé contenant un noyau aromatique pour une sous-couche de réserve, une composition de sous-couche de réserve le contenant, ainsi qu'un procédé de formation de motif de dispositif au moyen de cette composition.
Korean[ko]
레지스트 하층막용 방향족 고리 함유 화합물, 이 화합물을 포함하는 레지스트 하층막 조성물 및 소자의 패턴 형성 방법을 제공한다.