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Author: WikiMatrix
Data
English[en]
Usually, silicon wafers are used as substrates for bulk micromachining, as they can be anisotropically wet etched, forming highly regular structures.
Spanish[es]
Por lo general, las obleas de silicio son utilizadas como sustratos para el micromaquinado en volumen, ya que pueden ser grabadas en mojado anisotrĂ³picamente, formando estructuras altamente regulares.